EUV光刻工具并不是真正荷兰式工具,尽管它们主要在荷兰组装,其关键部件来自加利福尼亚州西盟,以及德国蔡司和通快,甚至这些德国公司也依赖美国生产关键设备。问题是,与其说个国家能够对这些神奇工具感到自豪,不如说它们是许多国家产物。个有几十万个零件工具有很多“父亲”。
格鲁夫问过约翰·卡拉瑟斯个问题:“它能行吗?”然后,格鲁夫将他第笔2亿美元投资于EUV光刻机。经过30年时间、累积数百亿美元投资、系列技术创新,以及世界上最复杂供应链建立,到2015年左右,阿斯麦EUV光刻机终于准备好部署到世界上最先进芯片制造厂。
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