需要频繁地进行维修，因为每个部件不是同时失效
。每台EUV光刻机成本超过1亿美元，因此如果每台机器离线
小时，芯片制造商就会损失数千美元。
这里对计算光刻描述借鉴吉姆·凯勒，《摩尔定律没有死》（Moore'sLawIsNotDead），加州大学伯克利分校电子工程和计算机科学系活动，YouTube视频，2019年9月18日，种叫作计算光刻软件来更精确地打印图案。光与光刻胶产生化学反应原子级不可预测性给EUV带来
新问题，而这在更大波长光刻技术中几乎不存在。为调整光线折射方式异常，阿斯麦工具以不同于芯片制造商希望印在芯片上图案投射光线。要想形成图形“X”，阿斯麦需要使用形状非常不同图案，但当光到达硅晶圆后，最终会产生“X”。
作为最终产品，芯片之所以能够可靠地工作，是因为它只有个部件——块覆盖着其他金属硅。芯片中没有运动部件，除非你算上芯片内部运动电子。但生产先进半导体依赖于些迄今为止最复杂机器。阿斯麦EUV光刻机是历史上最昂贵大规模生产机器，其复杂程度非常高。如果没有阿斯麦工作人员充分培训，其他公司就不可能使用阿斯麦EUV光刻机，阿斯麦工作人员在设备整个使用寿命期间都会留在现场。每个EUV光刻机侧面都有个阿斯麦徽标。但阿斯麦欣然承认，阿斯麦专长是能够协调个由光学专家、软件设计师、激光公司和许多其他人组成网络，这些人能力是实现EUV光刻机梦想所必需。
《通快通过激光交易整合EUV光刻供应链》（TrumpfConsolidatesEUVLithographySupplyChainwithAccessLaserDeal），2017年10月4日，最后几年那样，人们很容易对制造业离岸外包感到惋惜。荷兰公司阿斯麦将美国国家实验室率先开发项技术商业化，该技术主要由英特尔提供资金。如果人们知道光刻或EUV光刻技术历史，这无疑会激怒美国经济民族主义者。但阿斯麦
请关闭浏览器阅读模式后查看本章节，否则可能部分章节内容会丢失。
