格要求
精细协调系统。他估计，阿斯麦本身只生产
EUV光刻机部件15%，其余部分是从其他公司购买。这使得阿斯麦可以获得世界上最精细产品，但它需要不断地监控。
新闻稿：《蔡司和阿斯麦将在21世纪20年代初加强下
代EUV光刻合作关系》（PressRelease:ZEISSandASMLStrengthenPartnershipforNextGenerationofEUVLithographyDueinEarly2020s），阿斯麦，2016年11月3日，来源获得EUV光刻系统关键部件。为管理这点，阿斯麦深入解其供应商源头，以解风险。阿斯麦以投资形式回报某些供应商，比如2016年支付给蔡司10亿美元，为蔡司研发提供资金。这样，所有供应商都达到严格标准。阿斯麦首席执行官彼得·温宁克（PeterWennink）告诉家供应商：“如果你不守规矩，
们就会把你买下来。”这并不是个玩笑：阿斯麦最终买下包括西盟在内几家供应商，因为阿斯麦认为自己可以更好地管理它们。
伊戈尔·弗门科夫等，《批量制造EUV光源：技术、性能和功率放大》（LightSourcesforHigh-VolumeManufacturingEUVLithography:Technology，Performance，andPowerScaling），《先进光学技术》（AdvancedOpticalTechnologies），第6卷，第3-4期，2017年6月8日。结果，台拥有数十万个部件机器，花费数百亿美元和几十年时间来研发。奇迹不仅仅在于EUV光刻技术成功，还在于EUV光刻技术能够以足够可靠成本生产芯片。极端可靠性对于EUV光刻系统中任何部件都至关重要。阿斯麦为每个部件设定个平均使用时间至少为3万小时目标——大约四年后才需要维修。实际上，这些部件
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