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39 EUV光刻机(2 / 7)

V。从那时起,复杂性增加令人难以置信,而以前莱思罗普光刻工艺只需借助于个简单灯泡作为光源。

采访两位通快高管,2021年。西盟光源需要由种新激光器以足够大功率轰击锡滴产生。这需要功率比以前任何激光器都要强大二氧化碳激光器。2005年夏天,西盟两名工程师联系家名为通快(Trumpf)德国精密工具公司,看看它能否制造出这样激光器。通快制造世界上最好用于精密切割二氧化碳激光器。在最好德国工业传统里,这些激光器是机械加工纪念碑。因为在二氧化碳激光器产生能量中,大约80%是热量,只有20%是光,所以从机器中抽取热量也是个关键挑战。通快之前设计种鼓风机系统,风扇每秒转动1000次,由于速度太快,鼓风机无法依靠物理轴承。最终,该公司学会使用磁铁,因此风扇可以在空气中飘浮,并且在从激光系统中吸出热量时不会与其他部件发生摩擦,也不会危及可靠性。

《通快激光放大器》(TRUMPFLaserAmplifier),通快,https://www.trumpf.com/en_US/products/laser/euv-drive-laser/。通快在提供西盟所需精确性和可靠性方面享有盛誉和良好纪录。那,通快能提供大功率激光器吗?EUV激光器功率比通快已经生产任何激光器功率都要大。此外,西盟要求精确度比通快之前处理过任何项目都更精确。西盟提出种由四个部件组成激光器:是两个“种子”激光器,虽然其功率低,但能精确地控制每个脉冲,使激光每秒能击中5万个锡滴;二是四个增加光束功率谐振器;三是个超精确“光束传输系统”,可以将光束引导到锡液滴室,光束路径超过30米;四是个最终聚焦装置,以确保激光每秒直接命中数百万次。

采访通快两位高管,2021年。马克·劳里(MarkLourie),《II-VI公司扩大EUV光刻机通快高功率CO2激光器金刚石窗口制造能力》(II-VIIncorporatedExpandsManufacturingCapacityofDiamondWindowsforTRUMPFHighPowerCO2LasersinEUVLithography),世通社,2018年12月19日,

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