光是雕刻
工具，由激光器产生，涉及三项技术指标即光刻分辨率、套刻精度和产能。
光刻分辨率有
道计算公式，照公式调整影响因数从而提高光刻分辨率，这方面难度不大，但是受掩膜设计、抗蚀剂工艺等牵制，必须同时达到最佳化才能实现理想光刻分辨率。
套刻精度与光刻分辨率相关，直接受其影响。
至于产能，则与光源系统稳定相关。
以上是对激光器要求，相对整个光源系统技术要求不算高，系统工程程序中最难步骤是光收集。
凭那
点天真热血冲动想法而忽略
脚下不牢靠基石，太蠢。
郑河如是冷漠傲慢想着，打发走计海，将消息简单汇报给陈天鹤。
陈天鹤正从私人专机上下来，落到美国土地上。
“陈惊璆事以后不用跟
说。”陈天鹤冷漠说。
他抬头观看这座灯火通明城市——
研成果真是你？”
计海连连点头：“当然都是！郑总，您说个搞科研，怎做得来内应这种事？”
如果不是科研人员大多非长袖善舞，郑河早踹开计海。
“虽然你搜来消息都没用，不过这也说明蓝河科技最近确实处境艰难。”郑河脸色缓和些，冷笑着说：“蓝河科技拉不到投资，革芯项目没人看好，陈惊璆居然不想办法解决迫在眉睫资金问题，而是跑去各个研究团队找他们合作攻破光刻机技术！”
“哈哈哈哈……”郑河摇头，上下摇晃着食指嘲讽：“蠢！天真！果然还是太年轻！技术是核心没错，但这做就是缘木求鱼！”
收集难度大，转化效率也低。
雷客坐在电脑前，操纵鼠标在软件里做精密计算：“所需极紫外光必须在真空下进行反射，不能被折射，因为它非常容易被吸收。真空腔内反射镜需要特殊镀膜，把这束光，从光源路引导到晶圆……经过十几次反射，最终剩下光线不到2%！”
围观过来研发部成员倒吸口凉气，虽早知光源转化率低，但听到这数字还是低得让他们心疼。
光源转化率低就意味着能量
加利福尼亚州圣迭戈市，高通总部。
陈天鹤此行目。
***
光源系统是光刻机制造核心，是晶圆光刻工程起始步，与光刻工程后续每步息息相关。
光源系统主要三大单元是光产生、收集和均化，初代光刻机光源系统还包括光纯化，但第四代、第五代激光器产生光源已经达到要求，只需要让光均匀化就行。
攻破核心技术哪有那容易？
那些科研团队从立项到拿到资金再到解决关键技术问题并实现产业化，可都不是朝夕事！
陈惊璆以为就他聪明、就他们想到这个联合技术链办法？
单说那个光刻机双工作台核心技术，11年获得国家02专项立项至今，思念过去还没出结果。
技术攻破首要是资金，没有资金学人开什公司？做什技术开发？
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