。GCA不再存在。美国最大
光刻机公司是硅谷集团，但该公司在技术上落后。美国z.府对20世纪80年代贸易摩擦仍然很敏感，不希望日本尼康和佳能与美国国家实验室合作，尽管尼康认为EUV技术不会奏效。对于美国来说，阿斯麦是仅存可选光刻机公司。
采访肯尼斯·弗拉姆和理查德·范·阿塔，2021年。大卫·拉默斯，《美国在EUV上同意阿斯麦》（U.S.GivesOktoASMLonEUV），《电子工程专辑》英文版，1999年2月24日。该媒体报道援引
阿斯麦与美国z.府达成
项协议，根据该协议，阿斯麦承诺在美国生产其部分机器。
无法从美国*员或阿斯麦那验证这种承诺存在，尽管多名美国前*员表示，该协议听起来似乎合理，但它可能是非正式。现在，阿斯麦在康涅狄格州家制造厂生产EUV工具部分，因此，如果事实上阿斯麦做出过这样承诺，那
阿斯麦看起来是在遵守协议。在采访对象中，没有人认为外交政策考虑对这决定至关重要。许多人表示，他们不记得对这个话题任何讨论。让外国公司获得美国国家实验室最先进研究成果想法，在华盛顿引发些问题。EUV光刻技术并没有立即应用于军事领域，当时还不清楚EUV能否发挥作用。但如果真这样做，那美国将依赖阿斯麦作为所有计算基础工具。但除美国国防部些*员外，华盛顿几乎没有人担心。大多数人认为，阿斯麦和荷兰z.府是可靠合作伙伴。对政治领导人来说，更重要是对就业影响，而不是地缘政治。美国z.府要求阿斯麦在美国建立个工厂，为其光刻机制造组件，并向美国客户提供产品和雇用美国员工，但阿斯麦大部分核心研发在荷兰进行。美国商务部、国家实验室和相关公司关键决策者表示，z.府在做此决定时候没有考虑太多政治因素。
唐·克拉克（DonClark）和格伦·辛普森（GlennSimpson），《硅谷集团出售让荷兰反对者担心外国竞争》（OpponentsofSVGSaletoDutchWorryAboutForeignCompetition），《华尔街日报》，2001年4月26日。采访光刻行业专家，2021年。采访理查德·范·阿塔，2021年。采访美国商务部前*员，2021年。尽管长期拖延和巨额成本超支，但是EUV伙伴关系仍缓慢取得进展。尼康和佳能被排除在美国国家实验室研究之外，决定不制造自己EUV工具，使阿斯麦成为世界上唯生产商。与此同时，2001年，阿斯麦收购美国最后家大型光刻机公司硅谷集团。当时，硅谷集团已经远远落后于行业领先者，但人们再次质疑该交易是否符合美国安全利益。在DARPA和美国国防部（数十年来直
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