与杰伊·莱思罗普通信,2021年。采访沃尔特·卡德韦尔,2021年。采访约翰·高迪,2021年。杰伊·莱思罗普和詹姆斯·纳尔,“半导体构造”(SemiconductorConstruction),美国2890395A号专利,于1957年10月31日提交,1959年6月9日发布,
在通过显微镜观察其中个晶体管时,莱思罗普和他助手——化学家詹姆斯·纳尔(JamesNall)有个想法:显微镜镜头可以拍摄些小东西,让它们看起来更大。如果把显微镜颠倒过来,这些小东西看起来就更小。他们能用镜头把个大图案“印”到锗上,从而在锗块上制作微型台面吗?相机公司柯达(Kodak)出售种叫作光致抗蚀剂化学物质(俗称“光刻胶”),这种物质在受到光照时会发生化学变化。
莱思罗普用柯达光刻胶涂在块锗上。接下来,他将显微镜颠倒过来,用个矩形图案覆盖目镜,这样光线就只能穿过个矩形区域。光线通过目镜照射矩形图案,当光线通过物镜聚焦到光刻胶涂层锗上时,倒置显微镜缩小矩形图案尺寸,形成完美微缩版。当光线照射到光刻胶层时,化学结构发生改变,使其显影时能被溶解,留下个比任何团手工蜡都
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