接下来是利用收集镜收集等离子体发散
euv辐射汇聚成光源发送至光刻系统，并经由曝光系统获取最终ic晶圆。
但盛明安团队没有做后面两步，只设计
光源系统实验设计。
秒
“启动二氧化碳脉冲激光器！”
话音落，盛明安按下开关按钮，众人抬头看向前方恒温无尘实验室内光源系统设备，尘不染银白色设备在冷光下散发出奇妙无机质机械美。
机械表面很平静，盛明安等人看不到内部正在发生变化，他们只能通过最终结果判断是否成功，而过程很短暂、很快速，快到频率秒五万次！
盛明安黑科技系统可以窥探机械内部变化，它切换视角帮助盛明安进入光源系统设备内部查看实验。
视角先是银白色机械，瞬间穿入内部复杂得宛如个巨大机械加工厂设备，时间和空间被虚化，内部片黑暗，若鸿蒙未开混沌宇宙。
“盛工，你来吧。”
“唔？”盛明安有点诧异，老实说程院长无论资历还是辈分都比他高几轮，被长辈喊‘盛工’、谦让，他不太好意思：“您喊
名字就行。光源系统研发也有您份力，还是您来。”
程院长摆摆手笑着拒绝：“这辈子扛过不少科学大工程验收阶段，不至于跟年轻人抢个光源系统实验验收。再说光源系统主要是你手策划完成，只是个半路杀出辅助，行别推辞，再推让下去该下班。”
行吧。盛明安点点头，示意身后研发团队各就各位，紧盯前方全套光源系统设备，沉着冷静说：“开始验收。准备——”
“已启动数据记录，光源验收记录，功率消耗记录。”
突然前方个闪亮光点，先是四条头发丝大小曲线包围成个圆圈，圆圈中心点亮光逐渐向外扩张，由圆点扩张成椭圆形，光越来越盛、越来越亮，猛然爆发出闪亮耀眼白光，瞬间照亮黑暗内部，条细长发亮紫光倏然蹿出发光口，通过圆形长管，进入光束矫正器，通过能量转换器……
最终击中直径30μm靶材料（锡液滴）。
视角追随其中条光线，忽然向后拉远，视角范围内出现数以万计紫色细长光线穿过个又个圆形长管最后以平均两次击中同靶材料电离锡原子，释放等离子体，激发纳米级光子，完成光刻机曝光步骤。
视角再向后拉远，饶是有着先进两百年科技技术系统也不由为这号称工业皇冠euv工作时内部所震撼。
激光经过多重反射镜均匀化、收集，投影掩膜，击中靶材料，获取需求中等离子体。
“靶材装置确定装载完毕。”
“电源确定。”
“三万瓦二氧化碳脉冲激光器进入预热状态。”
“……”
接二连三报告在空旷苍白寂静实验室中此起彼伏，每句报告简短有力，错落有序，整洁飞快，无端感染在场其他等待验收成果研发团队成员紧张期待心情。
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