euv光源系统现实工作,激光发射击中锡液滴这过程是每秒五万次,而在仿真建模中,为方便观察,数据比例修改后变成肉眼可观测。
仿真建模观测小时后,放大雕刻后晶片,宛如个个充满未来感城市。
杜颂吞咽口水,紧张问:“怎样?”
雷客屏住呼吸:“仿真实验结果和当初预料结果致,如无意外,方案可行。”
身后传来阵激动欢呼声,不过很快压下来,众人纷纷看向没开口盛明安,他才是实验室主心骨,他点头才算实验成功!
“……”张群芳:“有这缺钱?”
盛明安:“缺研发资金。”
如果盛明安站在跟前,张群芳估计得对着他指指点点,他没好气说:“只要是正儿八经搞科研,有成果,经费肯定会拨下来。”
盛明安弯起眼:“谢谢教授。”
张群芳:“没什事挂。”
金量越高,后面排队物理学家就越多,有人作出伟大贡献却等几十年还不定等得到个大奖。
所以盛明安不着急,也不失望。
盛明安简单陈述他意思,张群芳笑道:“你这心态比还稳。”
“不及您。”
“行,少拍马屁。”张群芳说:“告诉你个好消息,10pw超强超短激光器已经建成,提前交作业,1000pw级超强超短激光器大工程估计明年能竣工,你功劳可不小。”
但不可避免,他们此刻心脏仿佛被吊到嗓子眼,紧张得几乎不能呼吸。
无他,因为眼前仿真建模是他们耗费三年、将近四年成果!
无数日夜数据优化、改进,从光源系统到光刻系统,从激光
盛明安:“教授再见。”
通话结束,之后还有潘教授、朱教授等人打电话安慰盛明安,足见他们有多关心这棵天才苗子。
***
蓝河科技研发部,尘不染恒温实验室内,盛明安位于主位,身后是雷客、杜颂等人,他们都穿着白色防尘衣,攥紧拳头牢牢盯住屏幕光刻机仿真建模。
组装、封装,启动激光器,紫色激光发射,击中模拟锡液滴,高强度等离子体发出euv光源被收集镜捕获汇聚形成光源,光源集中、传递至光刻系统,经光刻系统系列步骤曝光晶片。
盛明安:“只是提方案,也拿奖励,工程方面没怎发光发热,功劳不敢担。”
张群芳感叹盛明安这性格也太淡泊名利点,怎说好呢?不是坏事,但也不值得提倡,没有欲望人也很难得到满足和快乐。
他担忧盛明安看得太通透,容易对这世界失去兴趣。
张群芳琢磨会儿,没贸贸然说他忧虑,而是转移话题:“还有xfel光源科学大工程也提上日程,也标注是你提出方案。华科院那边提交这工程时,顺便提嘴你忙碌年多光刻机研发,上面多少留意到你们革芯项目。”
盛明安睁大眼,手指蜷起握成拳头,挺惊喜问:“资金支持吗?”
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